6月24日,，在北京航空航天大學(xué)，集成電路學(xué)院科研人員在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“100年”,。新華社記者鞠煥宗攝

  磁性芯片生產(chǎn)過(guò)程中,，需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓（制作硅半導(dǎo)體集成電路所用的襯底）上。確保所有晶圓完全“躺平”有多難,？北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系教師張學(xué)瑩表示,，其相當(dāng)于在北京的海淀區(qū)地面上均勻鋪滿5層厚的小米粒，且須完全平整,，“因此,，檢測(cè)薄膜的平整度尤為關(guān)鍵?！?

  張學(xué)瑩介紹,，科研人員利用檢測(cè)儀器，通過(guò)微小的磁性針尖在薄膜上寫字,，若字的顏色對(duì)比度一致,、字跡清晰，則表明薄膜有良好的均勻性,。完成平整度檢測(cè)后,，將納米薄膜制成器件，封裝后形成芯片,。

  6月24日,，在北京航空航天大學(xué),，集成電路學(xué)院科研人員（前）在5個(gè)原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“中國(guó)芯”。新華社記者鞠煥宗攝

  該檢測(cè)儀器,，正是由北航集成電路學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)研發(fā)的晶圓級(jí)磁光克爾測(cè)試儀,。

  北航集成電路學(xué)院工藝與裝備系主任王新河說(shuō)，磁性芯片可作為高可靠的信息存儲(chǔ)模塊和高靈敏的磁信號(hào)傳感模塊,，應(yīng)用于飛機(jī),、衛(wèi)星的控制系統(tǒng)，以及手機(jī)電子羅盤,、汽車自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域,。而磁性芯片生產(chǎn)過(guò)程中的磁性薄膜檢測(cè)這一關(guān)鍵技術(shù)，屬于我國(guó)長(zhǎng)期被“卡脖子”的技術(shù),。

  “對(duì)比國(guó)外同類設(shè)備,，這臺(tái)儀器在測(cè)試精度和速度等方面進(jìn)行了技術(shù)革新，實(shí)現(xiàn)了自主創(chuàng)新突破,?！蓖跣潞诱f(shuō)。

  6月24日,，在北京航空航天大學(xué),，集成電路學(xué)院科研人員在用磁性筆尖檢測(cè)納米薄膜的磁性。新華社記者鞠煥宗攝

  據(jù)了解,，該儀器現(xiàn)已應(yīng)用于科研領(lǐng)域,，且預(yù)計(jì)于今年10月在產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域投入商用。

  早在1993年,，中國(guó)科學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)就用10個(gè)原子擺出“中國(guó)”字樣,，標(biāo)志著我國(guó)可自主實(shí)現(xiàn)原子操縱。如今,，用于書寫“100年,，中國(guó)‘芯’”的晶圓級(jí)磁光克爾測(cè)試儀，為具有百億元市場(chǎng)規(guī)模的磁性芯片產(chǎn)業(yè)提供設(shè)備支撐,。

  從“中國(guó)”,，到“100年，中國(guó)‘芯’”,，背后的科研突破成為我國(guó)高科技自主創(chuàng)新能力不斷提升,、國(guó)家科技力量持續(xù)增強(qiáng)的一個(gè)縮影。

  “作為科研一線的基層黨員,，我覺(jué)得扎實(shí)搞研究,、實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新突破，便是我們對(duì)建黨百年最好的獻(xiàn)禮,?！睆垖W(xué)瑩說(shuō),。

（編輯：映雪）